Phạm vi hành trình
20 mm
Nghị quyết
0,125μm
Độ lặp lại
＜1μm
Độ thẳng
＜2μm
Sự song song
＜5μm
ném bóng
10"（50μrad)
ngáp
Tốc độ tối đa
5mm/giây
Dung tải
10kg
Cân nặng
1,5kg
